[성장기업면톱] 아펙스, 차세대 반도체프라그마틱 슬롯사이트 양산

반도체 프라그마틱 슬롯사이트업체인 아펙스(대표 김상호)가 차세대 첨단 프라그마틱 슬롯사이트인 금속유기화학증착프라그마틱 슬롯사이트(MOCVD)생산공장을 준공했다. 30일 이회사는 충북 청원 첨단산업협동화단지에 총20억원을 투자, 대지 1천8백평에 건평 5백평 규모로 첨단클린룸 시설을 갖춘 공장을 완공하고 생산에 들어갔다고 밝혔다. 이곳에서 생산하는 반도체 금속유기화학증착프라그마틱 슬롯사이트인 MOCVD는 동이나 기타 금속소재로 웨이퍼표면을 증착하는 프라그마틱 슬롯사이트로 기존의 증착소재인 실리콘보다고집적 반도체 생산에 적용되는 차세대 프라그마틱 슬롯사이트이다. 아펙스는 이프라그마틱 슬롯사이트를 독자적인 기술로 부품설계에서 제작까지 자체 기술로 개발했으며 지난해말 국제워크숍을 개최해 기술력을 세계적으로 인정받았다. 아펙스는 또 최근 미국의 대형 반도체 프라그마틱 슬롯사이트업체와 동을 증착 소재로 하는 MOCVD의 기술공유권 계약을 맺어 국내 최초로 반도체프라그마틱 슬롯사이트를 본고장에 역수출하게됐다. 이프라그마틱 슬롯사이트는 98년부터 2백56메가D램과 주문형반도체 양산라인에 적용될 예정이다. 아펙스는 올해 이프라그마틱 슬롯사이트를 20여대 주문받아 삼성전자 LG전자 현대전자 등의 실험생산 라인에 공급키로했다. 이 회사 김사장은 1기가 시대에는 처리속도를 높이기위해 웨이퍼 박막증착소재가 동과 기타 금속 소재로 바뀌게 됨에따라 앞으로 MOCVD의 시장 수요는 급팽창할 것으로 내다봤다. 김사장은 한국전자통신연구소의 반도체 연구단 선임연구원 출신으로 지난 91년 이회사를 창업했으며 매출액의 20%를 연구개발비로 투자하고있다. 올해 매출실적은 70억원으로 예상하고있다. (한국경제신문 1996년 7월 1일자).