슬롯사이트 업, 차세대 반도체 패키징 산업전 참가…혁신적인 홀로토모그래피 선보여
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ASPS는 슬롯사이트 업 패키징 분야에서 최신 기술과 혁신 제품을 선보이는 전문 전시회이다. 올해는 28~30일 진행된다. 글로벌 슬롯사이트 업 기업들이 최신 기술, 장비, 소재 등을 전시하며 업계 전문가들과 네트워킹 기회를 갖는 중요한 플랫폼이다.HT-T1은 글래스 기판의 TGV(반도체 패키징용 유리 기판에 전기 흐름을 돕는 미세한 전극 통로를 만드는 것)를 파손 없이 3차원으로 검계측할 수 있는 기술이다. TGV 내벽의 조도 측정, 미세 크랙 검사, 그리고 레이저 가공 누락 영역의 정밀감지 등 다양한 기능을 제공한다. 이 제품은 유리 디스플레이 기판(Glass Substrate), XR/AR Glass, Ultra-Th슬롯사이트 업 Glass 등의 분야에 적용될 수 있다.
HT-R1은 반도체 및 디스플레이를 비파괴 방식으로 3차원 이미징할 수 있는 솔루션이다. 특히 하이브리들 본딩(Hybrid bond슬롯사이트 업g) 구조에서 이산화규소(SiO2)의 조도와 Cu 패드 함몰량을 동시에 측정할 수 있는 장점이 있다. 이 제품은 Hybrid bond슬롯사이트 업g, OLED, OLEDoS, MLA, 빌드 업 필름(Build-up Film) 등의 분야에 적용이 가능하다. 100nm급 광학 해상도로 다층막이 형성된 웨이퍼 레벨의 대면적 표면 품질을 맵핑 할 수 있다.
슬롯사이트 업는 이번 전시회를 통해 기존의 3D 검계측 기술로 해결하기 어려웠던 문제들에 대해 혁신적인 솔루션을 제시할 계획이다. 현장에서는 슬롯사이트 업 관계자들이 직접 상담을 진행하며, 고객들에게 맞춤형 기술 설명과 지원을 제공할 예정이다. 이를 통해 고객의 까다로운 검계측 과제를 해결할 수 있는 새로운 가능성을 제시하고자 한다.박용근 슬롯사이트 업 대표(카이스트 물리학과 교수 겸임)가 "홀로토모그래피와 인공지능: 디스플레이 및 반도체 산업에서의 계측 및 검사 발전(Holotomography and Artificial Intelligence: Advancing Metrology and Inspection in the Display and Semiconductor Industries)"라는 주제로 심포지엄 발표도 진행할 예정이다. 이 발표는 8월 29일 오후 3시부터 수원 컨벤션센터 회의실에서 진행된다.
이번 전시회를 통해 슬롯사이트 업는 글로벌 반도체 및 디스플레이 시장에서의 초석을 다지며, 고객과의 긴밀한 협력을 통해 혁신적인 기술을 지속적으로 개발해 나갈 계획이다.
김유림 기자 youforest@hankyung.com