공업기술원은 표면분석장비인 ESCA-AES-SIMS(X선광전자분광기.오제이전자
현미경.이차이온질량분석기)을 최근 도입했다.

이번에 도입된 표면분석장비는 ESCA와 AES,SIMS가 함께 설치된 복합장비로
재료 표면을 구성하고있는 원소의 종류및 양과 재료 구성원소의 화학적 상태
분석이 가능한 첨단장비이다.

(한국슬롯사이트사이트신문 1994년 11월 14일자).