[도쿄=이봉구특파원]

일본전신전화(NTT)는 X선을 사용, 세계최초로 반도체기판에 선폭
0.07마이크론(1마이크론은 1천분의 1mm)의 회로를 새기는데 성공했다고 29일
밝혔다.

지금까지 개발된 미세회로기술은 후지쓰가 자외선 레이저를 이용해 설계에
성공한 0.12마이크론 선폭이 최첨단이었다.

이 미세가공기술이 개발됨에따라 차세대메모리인 64기가D램을 제조 실용화
할수 있는 길이 열리게 됐다.

NTT의 LSI연구소는 X선을 발생시키는 싱크로트론방사광(SR)장치를 사용한
실험에서 선폭이 0.07마이크론까지는 회로에 새기는 것은 가능하나 선폭을
0.06마이크론으로 줄일 경우 회로의 형태가 깨져 버리는 사실을 발견했다고
밝혔다.

회로를 새기는데 사용한 SR장치는 의료등에 사용되는 종래 X선보다 더 폭이
좁고 강력한 X선이 방출되는 것으로 알려졌다.

(한국슬롯 사이트 슬롯사이트신문 1996년 6월 30일자).