세메스, 슬롯사이트 볼트 추천 장비 10000호기 출하…자동화 설비 다변화

반도체 장비업체 세메스가 국내 최초로 독자 개발한 반도체 물류자동화 핵심장비인 슬롯사이트 볼트 추천(Overhead Hoist Transport) 양산 10,000호기 출하식을 가졌다고 29일 밝혔다.

슬롯사이트 볼트 추천는 반도체 라인 천장에 설치된 고정 레일을 따라 웨이퍼가 담긴 통(FOUP)을 각 공정장비로 옮기는 이송시스템이다.이 장비는 그동안 일본의 업체로부터 전량 수입에 의존해 왔으나 지난 2011년 세메스가 오랜 연구개발 끝에 슬롯사이트 볼트 추천 장비를 자체 개발했다. 현재 연간 수천억원의 수입대체 효과를 보고 있다.

슬롯사이트 볼트 추천는 먼지와 진동을 최소한으로 줄이면서 최대한 빠른 속도로 이송하는 것이 특징이다.

세메스가 내년 상반기 선보일 차세대 슬롯사이트 볼트 추천 장비는 세계 최고 수준으로 초당 직선으로 5m, 곡선에서 1m를 조용하게 먼지없이 움직일 수 있으며, 기존 대비 웨이퍼 적재시간 및 진동은 줄이고,
이송 하중은 늘려 반송효율을 30% 이상 크게 향상시켰다.또한 첨단 소프트웨어 기술을 적용해 라인내 생산 슬롯사이트 볼트 추천 흐름을 최적화 시켰다고 덧붙였다.

정태경 대표는“슬롯사이트 볼트 추천를 반도체 라인에 설치하려면 공정흐름 전반의 정보와 개별 설비 상태를 실시간으로 관리하며 최적의 생산시스템이 되도록 하는 것이 핵심이며, 이를 독자기술로 확보해 10,000호기까지 실적을 시현한 큰 성과”라고 말했다.

슬롯사이트 볼트 추천는 반도체 자동화설비로 주로 이용되지만 다양한 일반 산업현장에서도 무인자동화 및 물류이동 효율화 방안으로 활용 가능해 향후 수요 확대가 예상된다.세메스는 슬롯사이트 볼트 추천 외에도 고층 타워 리프트, 모바일 로봇, 후공정 반송물(SSD Tray, Cassette, Tray) 자동화 스토커 시스템 구축을 통해 물류자동화 설비 제품군을 다변화하고 있다.

박의명 기자 uimyung@hankyung.com